블랭크마스크 업체 에스앤에스텍이 삼성디스플레이 납품을 목표로 고해상도 유기발광다이오드(OLED)용 심자외선(DUV) 블랭크마스크 박막을 국책과제로 개발한다. 

9월1일 업계에 따르면 에스앤에스텍은 산업통상부의 소재부품산업기술혁신(양산성능평가지원) 사업 중 하나인 'SDC(삼성디스플레이)향 고해상도 OLED 제작을 위한 심자외선(DUV) 위상반전 블랭크마스크 박막 개발' 과제를 지난 4월 시작했다. 전체 연구기간은 2027년 12월까지다. 과제관리기관은 한국산업기술진흥원(KIAT)이다.

연구목표는 "에스앤에스텍이 세계 최초로 개발한 DUV 위상반전 블랭크마스크를 수요기업인 삼성디스플레이와 연계해 시제품 인정표준화를 완료하는 것"이다. 에스앤에스텍은 "양산 제품화까지 도전하겠다"며 "공급기업(에스앤에스텍)에서 개발한 블랭크마스크 특성을 수요기업(삼성디스플레이)이 요구하는 특성과 비교하고 'SDC향 고해상도 OLED 제작을 위한 DUV 위상반전막 블랭크마스크'를 양산하겠다"고 덧붙였다. 

이 과제는 과제명처럼 에스앤에스텍이 개발한 DUV 위상반전 블랭크마스크를 삼성디스플레이에 납품하는 것이 목표인 과제다. 삼성디스플레이는 수요기업으로 과제에 참여한다. 에스앤에스텍은 이미 삼성디스플레이의 마스크 협력사다. 에스앤에스텍은 디스플레이에 사용할 수 있는 위상반전 블랭크마스크와 포토마스크 기술을 최근 수년간 개발해왔다. 

KIAT 관계자는 "'양산성능평가지원' 사업은 공급기업과 수요기업 공동 참여가 필수이고, 모든 (양산성능평가지원 사업) 과제는 특정 기업이 수요대상(수요기업)"이라며 "과제명은 공급기업이 자율적으로 정한다"고 밝혔다. 과제명에 '삼성디스플레이'가 들어간 배경을 묻는 질문에 대한 KIAT 답변이다. 

KIAT 관계자는 "(공급기업과 수요기업이 함께 참여하는) 양산성능평가지원 사업은 지난 2021년부터 시작했다"며 "관련 과제에서 정부지원금은 공급기업인 에스앤에스텍에만 들어가고, 수요기업인 삼성디스플레이에는 들어가지 않는다"고 덧붙였다.