인공지능(AI) 칩 자체 조달을 노리는 일론 머스크의 '테라팹'이 마침내 첫 삽을 뜨면서 국내 반도체 장비 업계에 본격적인 수주 기회가 열리고 있다. 반도체 제조 경험이 부족한 '머스크 생태계'가 기술 검증을 마친 국내 소재·부품·장비(소부장) 기업들을 초기 파트너로 낙점하면서 장기 수혜 기대감이 고조되는 분위기다.

10월3일 관련 업계 및 외신에 따르면 스페이스X는 최근 미국 텍사스주와 재산세 감면 및 경제개발 계약을 체결하고 테라팹 착공에 들어갔다. 테라팹의 제조 공간(연면적)은 약 930만㎡로 여의도 토지 면적의 3.2배에 달한다. 완공 시 총 투자 규모는 최대 1190억달러(약 165조원)에 이를 것으로 추산된다.

테라팹은 일론 머스크가 이끄는 테슬라, 스페이스X, xAI 3개사가 공동 추진하는 초거대 수직계열화 반도체 프로젝트다. AI 칩 공급 부족 해소와 빅테크(대형 정보기술 기업)의 컴퓨팅 수요 대응을 위해 반도체 제조부터 첨단 패키징·테스트까지 단일 거점에서 통합 처리하겠다는 구상이다. 테라팹은 기존 반도체 팹과 달리 연간 생산 능력을 웨이퍼 투입량 대신 완성된 AI 연산 시스템의 전력 규모인 '1TW(테라와트)'로 정의했는데 이는 현재 미국 전체 평균 전력 수요(0.5TW)의 두 배에 달한다.

아직 골조물도 올라가지 않은 건설 초기 단계이지만, 국내 반도체 소부장 기업들은 핵심 공급망을 잇달아 선점하며 수주 기회를 확보하고 있다.

전공정 분야에서는 고압수소어닐링(HPA) 독점 기업인 HPSP가 테라팹의 첫 테이프를 끊었다. HPSP는 테슬라가 텍사스 오스틴 본공장 인근에 조성 중인 선행 연구 팹에 내년 상반기 고압수소어닐링 테스트 장비 인도를 확정한 상태다. HPA는 고온·고압 환경에서 수소를 주입해 초미세 반도체 트랜지스터 게이트의 계면 결함을 치유하고 수율을 향상하는 핵심 전공정 기술이다.